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其他

帆宣系統科技
產業類別:其他
公司產品:半導體設備
使用產品:SolidWorks
運用SolidWorks 帆宣提升研發競爭力
 
帆宣系統科技成立於1988年,一向專注於半導體、平面顯示器設備及耗材代理,廠務系統TURNKEY服務等業務。帆宣公司代理銷售CMP、光罩等半導體之製程及檢測機台與耗材,LCD製程及檢測設備及材料等;客戶委託之設備組裝製造;以及專業之無塵室及機電統包工程,包括設計、安裝、採購、工程管理、施工、測試,純水、氣體及化學品供應系統設計執行、廢氣廢水廢溶劑處理和監控系統等。 帆宣在研發階段注重著品質與時效並重的設計理念,採用CAE方法可以在設計初期階段,模擬產品的性能和工作狀況,避免傳統設計上重複設變的過程。減少時間的浪費、縮短開發週期、減少人力、物力、財力降低開發費用。改變傳統設計依照經驗的方式進行,使用CAE計算能將設計方式結果定量化、數據化,在短時間嘗試各種設計方案,使產品獲得最佳化設計,提昇開發質量。

一般在設計均溫加熱器主要述求有幾點:
(1)加熱器升溫後,控溫設計期望達到均溫的情形;
(2)加溫後,熱產生的熱變形;
(3)控溫設計時間等。(圖8)
 
 
(圖8)單元均溫加熱器外型

由圖9所示,原始設計以接觸方式加熱,造成中央溫度較高,均溫性差;且加熱器升溫後,外側變形量過大,造成中央區域凸起,這並非好的加熱方式。而配合COSMOSWorks內的熱分析模組模擬後得到修改導熱板排向方式,經由修正後整個加熱器可以克服外側與中心部份變形量差過大的問題,並且在加熱表面的均溫性的溫差亦較平均。
 
 
(圖9)

升溫時間曲線及表面升溫歷程可供設計參考的一項重大資訊,在分析後的資訊與實際值比對後,誤差率皆在4%以下且整體趨勢與實測值相同。(圖10、11)
 
 
 
※誌謝帆宣公司葉昇明工程師在製作簡報及文章撰寫時鼎力相助。
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